[13p-A27-1~9] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[13p-A27-3] 大気圧Ar/NH₃プラズマプロセスによるN₂H₄を用いた銀粒子パターンの作製(Ⅱ)

〇木原 直也¹、Blanquet Ella^{1, 2}、平岡 悠¹、酒井 道^{1, 2} (1.京都大院工, 2.滋賀県大工)

キーワード：銀粒子、大気圧プラズマ、ヒドラジン