[13p-A27-1~9] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[13p-A27-5] リモートプラズマを用いたグラフェンの作製

〇東松 真和¹、平松 美根男¹、近藤 博基²、堀 勝² (1.名城大理工, 2.名大工)

キーワード：プラズマCVD, グラフェン