16:30 〜 16:45
[13p-A28-1] 同軸ケーブル置換型ECRプラズマスパッタ装置
キーワード：ECRプラズマスパッタ装置、導波管、同軸ケーブル
講演情報
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御
[13p-A28-1~10] 8.1 プラズマ生成・制御
2015年3月13日(金) 16:30 〜 19:00 A28 (6A-203)
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御
2015年3月13日(金) 16:30 〜 19:00 A28 (6A-203)
16:30 〜 16:45
キーワード：ECRプラズマスパッタ装置、導波管、同軸ケーブル