[13p-A28-1~10] 8.1 プラズマ生成・制御

[13p-A28-10] RFマグネトロンスパッタにおけるACカソードバイアス印加の効果

〇秋元 隆宏¹、進藤 春雄¹、磯村 雅夫¹ (1.東海大院工)

キーワード：プラズマ、スパッタング