[13p-A28-1~10] 8.1 プラズマ生成・制御

[13p-A28-5] ECR多価イオン源の電子エネルギー分布関数の空間分布と磁力線との対応

〇熊倉 翔¹、今井 洋太¹、長家 知生¹、西岡田 卓也¹、上田 和輝¹、萩野 尚吾¹、佐藤 文信¹、加藤 裕史¹、飯田 敏行¹ (1.阪大院工)

キーワード：ECRプラズマ、EEDF、プローブ