[13p-B1-1~7] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [13p-B1-4] 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によるInGaN/GaN多重量子井戸ナノ構造の作製

〇水谷 友哉¹、蜂屋 諒¹、古橋 洋樹¹、喜多 諒¹、菊池 昭彦^{1, 2} (1.上智大, 2.上智ナノテクセンター)

キーワード：GaN、エッチング、ナノ構造