PDF ダウンロード スケジュール 9 いいね! 0 16:30 〜 16:45 △ [13p-C2-8] 顕微PLイメージング:多結晶シリコンウエハ評価法としての可能性 〇二宮 駿也1、沓掛 健太朗1, 2、出浦 桃子1、大野 裕1、宇佐美 徳隆3、米永 一郎1 (1.東北大 金研, 2.JSTさきがけ, 3.名大院工) キーワード:PL、転位、粒界