2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[13p-D1-1~11] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2015年3月13日(金) 16:15 〜 19:15 D1 (16-101)

16:45 〜 17:00

[13p-D1-3] β-Ga2O3基板の結晶欠陥評価(2)

〇永井 哲也1、野網 健悟1、中居 克彦1、二木 登史郎1 (1.日鉄住金テクノロジー)

キーワード:酸化ガリウム、透過型電子顕微鏡