[13p-D1-1~11] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[13p-D1-3] β-Ga₂O₃基板の結晶欠陥評価(2)

〇永井 哲也¹、野網 健悟¹、中居 克彦¹、二木 登史郎¹ (1.日鉄住金テクノロジー)

キーワード：酸化ガリウム、透過型電子顕微鏡