[13p-D1-1~11] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [13p-D1-7] 酸素ラジカル支援PLD法による酸化ガリウム系混晶薄膜の成長

〇若林 諒¹、服部 真依¹、大島 孝仁¹、佐々木 公平²、増井 建和²、倉又 朗人²、山腰 茂伸²、吉松 公平¹、大友 明^{1, 3} (1.東工大院理工, 2.タムラ製作所, 3.元素戦略)

キーワード：酸化ガリウム、PLD