[13p-D10-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [13p-D10-6] バイアススパッタ法によるVO₂/Al₂O₃ (001)の転移特性制御と特異成長モードの発現

〇(D)ヌルーハニス ビンティアズハン¹、沖村 邦雄¹、蘇 魁¹、ムスタファ ザグリウィ²、坂井 穣² (1.東海大院理工, 2.トゥール大GREMAN)

キーワード：二酸化バナジウム、バイアススパッタ法、IMT特性制御