[13p-D10-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[13p-D10-8] リン酸を用いたMgO基板の結晶異方性エッチング

〇(M2)山崎 翔太¹、神吉 輝夫¹、ペリグリーノ ルカ²、マンカ ニコラ^{2, 3}、マレー ダニエル^{2, 3}、田中 秀和¹ (1.阪大産研, 2.CNR-SPIN, 3.Genova Univ.)

キーワード：異方性エッチング、MgO、MEMS