[13p-D4-1~11] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[13p-D4-3] GaAs中のエピタキシャル二次元窒素膜におけるアニール効果

〇原田 幸弘¹、小川 泰弘¹、馬場 健¹、海津 利行¹、喜多 隆¹ (1.神戸大院工)

キーワード：二次元原子膜、窒素デルタドーピング