[13p-D4-1~11] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[13p-D4-8] MOVPE法によるGaN基板上のウルツ鉱構造AlInP成長

〇平谷 佳大¹、石坂 文哉¹、冨岡 克広^{1, 2}、福井 孝志¹ (1.北大院情報科学および量子集積センター, 2.JSTさきがけ)

キーワード：MOVPE