[13p-D8-10~11] 17.2 構造制御・プロセス

[13p-D8-10] 電流計測AFMによる水素終端化シリコン基板上に固定した酸化グラフェンの局所電気特性評価

〇(M1)國府 翔¹、屠 宇迪¹、一井 崇¹、宇都宮 徹¹、杉村 博之¹ (1.京大院工)

キーワード：酸化グラフェン、水素終端化シリコン、電流計測AFM