[13p-P10-1~5] 7.6 イオンビーム一般

[13p-P10-1] Li窒化物とGaNのプロトンビームを用いたラザフォード後方散乱法による組成比決定

〇竹内 優作¹、山下 大輝¹、栗山 一男¹、串田 一雅² (1.法大大学院理工, 2.大阪教育大)

キーワード：ラザフォード後方散乱、Li窒化物