[13p-P10-1~5] 7.6 イオンビーム一般

[13p-P10-2] 集束陽子ビーム加工によるPDMS薄膜内包型光スイッチング素子の開発

〇川端 駿介¹、猿谷 良太¹、加藤 聖²、新木 潤¹、三浦 健太¹、加田 渉¹、佐藤 隆博³、江夏 昌志³、石井 保行³、神谷 富裕³、西川 宏之²、花泉 修¹ (1.群馬大, 2.芝浦工大, 3.原研)

キーワード：光導波路、光スイッチ、プロトン