[13p-P10-1~5] 7.6 イオンビーム一般

[13p-P10-4] 高周波イオン源による金属イオンビームの引き出し

〇(B)渡辺 悠太¹、神田 将摩¹、粕谷 俊郎¹、和田 元¹ (1.同大理工)

キーワード：金属イオンビーム、イオン源、高周波