[13p-P11-1~16] 8.7 プラズマ現象・新応用・融合分野

[13p-P11-1] マイクロ波プラズマを用いた無電極紫外ランプの開発

〇西川 拓¹、豊田 浩孝^{1, 2} (1.名大工, 2.名大プラズマナノ工学研究センター)

キーワード：マイクロ波プラズマ、紫外光源