[13p-P12-1~16] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[13p-P12-16] 静電吸着法を利用した微粒子集積化Ⅱ

安東 優輝¹、〇前田 篤志¹、武藤 浩行²、松田 厚範² (1.府大高専, 2.豊橋技科大)

キーワード：微粒子、集積