[13p-P13-1~4] 9.3 ナノエレクトロニクス

[13p-P13-3] 低ダメージGaAs系ナノ構造形成のための高精度ウェットエッチング技術の開発

〇黒田 亮太^{1, 2}、佐藤 将来^{1, 2}、葛西 誠也^{1, 2} (1.北大量子集積センター, 2.北大院情報科学)

キーワード：ウェットエッチング、GaAs、ナノ構造