[13p-P17-1~24] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[13p-P17-18] Al₂O₃/InAlN界面特性のプロセス依存性

〇千葉 勝仁¹、赤澤 正道¹ (1.北大　量集センター)

キーワード：InAlN、Al2O3