[13p-P18-1~21] 13.9 光物性・発光デバイス

[13p-P18-16] Pドープ(NH₄)₂SiF₆微粒子の発光特性評価

〇北澤 駿¹、佐藤 慶介¹、深田 直樹²、平栗 健二¹ (1.東京電機大学院工, 2.物材機構)

キーワード：(NH4)2SiF6、化学エッチング