[13p-P3-1~28] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[13p-P3-5] 石英基板上での銀成膜段階における結晶粒成長機構

〇森 智博^{1, 2}、田中 康弘¹、須崎 嘉文¹、山口 堅三¹ (1.香川大工, 2.和歌山工技セ)

キーワード：銀薄膜、結晶粒成長機構、電子線後方散乱回折