[13p-P5-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[13p-P5-1] Nd:YAGレーザーの第４次高調波を用いたSrTiO₃薄膜の低温成長

〇石川 竜介¹、和田 雄太¹、小野里 尚記¹、中村 基訓¹、篁 耕司¹ (1.旭川高専)

キーワード：低温成長、PLD、YAG