[13p-P5-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[13p-P5-6] IrO₂薄膜における結晶性と電気抵抗率

〇侯 秀一¹、高橋 竜太¹、Lippmaa Mikk¹ (1.東大物性研)

キーワード：イリジウム酸化物、薄膜