2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[13p-P6-1~6] 6.4 薄膜新材料

2015年3月13日(金) 16:30 〜 18:30 P6 (総合体育館)

16:30 〜 18:30

[13p-P6-2] Comprehensive study about ZnO film growth on (001) Si substrate by rf-sputtering

〇Dongcheol Oh1, Kangbok Kim1, Sooman Lee1 (1.Defense Sci. & Tech. Hoseo University)

キーワード:ZnO,rf-sputtering