[13p-P6-1~6] 6.4 薄膜新材料

[13p-P6-6] 金属-EDTA錯体由来の急速加熱冷却に耐えうるY₂O₃膜の合成

外山 歩¹、白井 友之¹、佐藤 彰紀¹、淡 エンキン¹、〇小松 啓志¹、中村 淳^{1, 2}、戸田 育民¹、大塩 茂夫¹、村松 寛之¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技科大, 2.中部キレスト)

キーワード：金属-EDTA錯体、Y2O3、耐急速加熱冷却