[13p-P7-1~12] 6.5 表面物理・真空

[13p-P7-3] 電界放出微小電子源を用いた低速電子回折

千原 佑太¹、達城 裕樹¹、高田 賢哉¹、中川 剛志¹、〇水野 清義¹ (1.九大総理工)

キーワード：低速電子回折、電界放出、電界誘起ガスエッチング