[13p-P8-1~5] 7.4 量子ビーム界面構造計測

[13p-P8-1] 高圧水蒸気熱処理によるメソ多孔体薄膜の膜質改善

〇田尻 恭之¹、関 将吾¹、古賀 玲奈¹、香野 淳¹ (1.福岡大理)

キーワード：メソ多孔体薄膜、高圧水蒸気熱処理