[13p-P8-1~5] 7.4 量子ビーム界面構造計測

[13p-P8-4] Ｘ線反射率法によるデルタ層を有する多層膜構造の評価

〇東 康史¹、黒河 明¹ (1.産総研計測標準)

キーワード：X線反射率、薄膜標準物質、膜厚