[14a-A14-1~9] 3.8 光計測技術・機器

[14a-A14-6] 位相変調された光による干渉信号を用いた振動変位計測ー大振幅三角波変調による自動較正

〇木村 亮祐¹、伊藤 孝優¹、田中 洋介¹、黒川 隆志¹ (1.農工大工)

キーワード：振動変位計測、光干渉計測