[14a-A16-1~11] 7.4 量子ビーム界面構造計測

[14a-A16-11] 中性子反射投影による埋もれた界面の可視化技術の検討

〇桜井 健次^{1, 2}、Jiang Jinxing^{1, 2}、水沢 まり^{1, 3}、伊藤 崇芳³、Li Dan^{1, 2}、阿久津 和宏³、宮田 登³ (1.物材機構, 2.筑波大数理, 3.CROSS東海)

キーワード：多層膜、画像再構成、全反射現象