[14a-A20-1~10] 9.3 ナノエレクトロニクス

[14a-A20-9] リアルタイムOSを用いたFCE法によるAuナノワイヤの高精度エレクトロマイグレーション制御による狭窄化

〇佐藤 秀亮¹、金丸 祐真¹、加藤木 悠¹、白樫 淳一¹ (1.東京農工大院工)

キーワード：リアルタイムOS、フィードバック制御型エレクトロマイグレーション、ナノギャップ