[14a-A21-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

△ [14a-A21-10] UV-LED光駆動の圧電薄膜アクチュエータの作製

〇黒川 文弥¹、大地 優平¹、佐段田 温朗¹、辻浦 裕一¹、肥田 博隆¹、神野 伊策¹ (1.神大院工)

キーワード：光アクチュエータ、強誘電体、薄膜