[14a-A21-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

△ [14a-A21-2] 自励振動を利用した圧電薄膜気流振動発電素子

〇辻浦 裕一¹、諏訪 英作¹、黒川 文弥¹、肥田 博隆¹、神野 伊策¹ (1.神大院工)

キーワード：圧電薄膜、振動発電素子、気流