PDF ダウンロード スケジュール 10 いいね! 0 09:45 〜 10:00 [14a-A21-4] 複数梁構造を有する圧電MEMS振動発電素子の振動解 〇苅谷 健人1、吉村 武1、村上 修一2、藤村 紀文1 (1.阪府大工, 2.阪府産技研) キーワード:エナジーハーベスタ、BiFeO3、MEMS