2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.3 絶縁膜技術

[14a-A24-1~12] 13.3 絶縁膜技術

2015年3月14日(土) 09:00 〜 12:15 A24 (6A-217)

11:30 〜 11:45

[14a-A24-10] 結晶性La2O3 /Ge(111)における電気特性のアニール効果

〇銭高 真人1、梶原 康裕1、山田 晋也1、浜屋 宏平1、金島 岳1 (1.阪大基礎工)

キーワード：高誘電率絶縁膜