[14a-A24-1~12] 13.3 絶縁膜技術

△ [14a-A24-7] GaSb表面の純窒化プロセスの検討

〇(M2)後藤 高寛^{1, 2}、藤川 紗千恵¹、藤代 博記¹、小倉 睦郎²、安田 哲二²、前田 辰郎^{1, 2} (1.東理大院基礎工, 2.産総研)

キーワード：ガリウムアンチモン、窒化