2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.3 絶縁膜技術

[14a-A24-1~12] 13.3 絶縁膜技術

2015年3月14日(土) 09:00 〜 12:15 A24 (6A-217)

11:15 〜 11:30

[14a-A24-9] 原子マッチングを利用した結晶性La2O3 high-k/Ge(111)構造の作製

〇金島 岳1、梶原 康裕1、銭高 真人1、山田 晋也1、浜屋 宏平1 (1.阪大基礎工)

キーワード:高誘電率絶縁膜