[14a-A25-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[14a-A25-9] 真空蒸着法による導電性基板上への BaSi₂薄膜の作製

〇(B)須原 貴道¹、原 康祐^{2, 3}、末益 崇^{2, 4}、宇佐美 徳隆^{1, 2} (1.名古屋大, 2.JST-CREST, 3.山梨大, 4.筑波大)

キーワード：BaSi2、導電性基板、真空蒸着