[14a-A28-1~10] 8.1 プラズマ生成・制御

[14a-A28-5] 3次元PIC/MC法による矩形マグネトロンスパッタカソードのエロージョン形状の解析

〇矢部 裕¹、小寺 恭介¹、吉田 武史¹、久保 信一¹、高橋 理¹、南部 健一² (1.昭和真空, 2.東北大流体研)

キーワード：3次元PIC/MC法、マグネトロンスパッタ、エロージョン形状