[14a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14a-A29-1] 光エッチングによる均一層厚を有する極薄SOIの形成

〇宮田 優希¹、中向 保徳¹、カッシア　チエミ アゼヴェド¹、押鐘 寧¹、川合 健太郎¹、有馬 健太¹、森田 瑞穂¹ (1.阪大院工)

キーワード：SOI、エッチング