[14a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14a-A29-3] プラズマ後処理によって高い仕事関数を有する微結晶窒化チタン膜

〇出貝 求¹、中山 雅則¹、原田 和宏¹、芦原 洋司¹、金山 健司¹ (1.(株)日立国際電気)

キーワード：配線、プラズマ、仕事関数