[14a-A3-1~11] 11.4 アナログ応用および関連技術

[14a-A3-3] 反応性イオンエッチングを用いて作製したマイクロ・ナノSQUIDからなる局所磁場計測システムの開発

〇佐久間 大輔¹、永合 祐輔¹、石黒 亮輔²、柏谷 聡³、髙柳 英明^{1, 4} (1.東理大, 2.理研, 3.産総研, 4.物材機構 MANA)

キーワード：SQUID、ナノSQUID