2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 窒化物半導体特異構造の科学 ~成長・プロセスとエレクトロニクス展開~

[14a-B1-1~9] 窒化物半導体特異構造の科学 ~成長・プロセスとエレクトロニクス展開~

2015年3月14日(土) 08:30 〜 11:45 B1 (6B-101)

08:30 〜 09:00

[14a-B1-1] パルス励起堆積法による特異構造の創製

〇藤岡 洋1, 2, 3、上野 耕平1、小林 篤1、太田 実雄1 (1.東大生研, 2.JST-CREST, 3.JST-ACCEL)

キーワード:特異構造、窒化物半導体