2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.6 イオンビーム一般

[14a-C1-1~11] 7.6 イオンビーム一般

2015年3月14日(土) 09:00 〜 12:00 C1 (6C-104)

09:15 〜 09:30

[14a-C1-2] 高出力インパルスマグネトロンスパッタリングを用いた金属クラスターイオン源の開発

〇(M1)水内 勇1、秋元 健吾1、山本 宏晃2、戸名 正英2、塚本 恵三1, 2、中野 元善1、大下 慶次郎1、美齊津 文典1 (1.東北大院理, 2.(株)アヤボ)

キーワード:高出力インパルスマグネトロンスパッタリング法、クラスター、飛行時間型質量分析法