[14a-C1-1~11] 7.6 イオンビーム一般

[14a-C1-6] ガスクラスターイオンビームによる極薄膜の非接触硬度評価

〇林 雅祐¹、豊田 紀章¹、山田 公¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム、GCIB、硬度測定