[14a-D1-1~9] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [14a-D1-2] 高周波マグネトロンスパッタリング法によるZnO薄膜の極性制御

〇(M1)角田 啓^{1, 2}、大澤 健男²、大橋 直樹²、石垣 隆正¹ (1.法政大学大学院, 2.物質・材料研究機構)

キーワード：酸化亜鉛、光電子分光、薄膜