[14a-D1-1~9] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[14a-D1-8] 分子プレカーサー水溶液を用いたミストCVD法によるZnO薄膜製作

〇(M1)後藤 良介¹、澁木 勇人¹、田沼 圭亮¹、畠山 匠¹、永井 裕己¹、山口 智広¹、佐藤 光史¹、本田 徹¹ (1.工学院大学)

キーワード：ZnO、透明導電酸化物、ミストCVD